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南大光電ArF光刻膠已拿到訂單 曾稱用于14/7nm工藝

2021-07-04 22:47:20    來源:互聯(lián)網(wǎng)    編輯:Radec    瀏覽量:加載中...

  7月2日消息,國內(nèi)半導體材料廠商南大光電在互動平臺上表示,公司旗下的ArF光刻膠產(chǎn)品拿到小批量訂單,不過他們沒有透露具體的客戶名單。

  今年5月份,南大光電發(fā)表公告,控股子公司寧波南大光電自主研發(fā)的ArF光刻膠繼2020年12月在一家存儲芯片制造企業(yè)的50nm閃存平臺上通過認證后,近日又在邏輯芯片制造企業(yè)55nm技術(shù)節(jié)點的產(chǎn)品上取得了認證突破,表明公司光刻膠產(chǎn)品已具備55nm平臺后段金屬布線層的工藝要求。

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  在光刻工藝中,光刻膠被均勻涂布在襯底上,經(jīng)過曝光(改變光刻膠溶解度)、顯影(利用顯影液溶解改性后光刻膠的可溶部分)與刻蝕等工藝,將掩膜版上的圖形轉(zhuǎn)移到襯底上,形成與掩膜版完全對應(yīng)的幾何圖形。

  半導體市場上主要使用的光刻膠包括g線、i線、KrF、ArF四類光刻膠,其中,g線和i線光刻膠是市場上使用量最大的。KrF和ArF光刻膠核心技術(shù)基本被日本和美國企業(yè)所壟斷。

  此前南大光電曾在公告中表示,ArF光刻膠涵蓋的工藝技術(shù)很廣,可用于90nm-14nm甚至7nm 技術(shù)節(jié)點制造工藝,廣泛應(yīng)用于高端芯片制造(如邏輯芯片、 存儲芯片、AI 芯片、5G 芯片和云計算芯片等)。

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