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臺(tái)積電2nm工藝進(jìn)入研發(fā)階段:將升級(jí)GAA晶體管

2021-04-20 15:57:40    來源:互聯(lián)網(wǎng)    編輯:Radec    瀏覽量:加載中...

  做為全球最大最先進(jìn)的晶圓代工廠,臺(tái)積電在7nm、5nm節(jié)點(diǎn)上領(lǐng)先三星等對(duì)手,明年面還會(huì)量產(chǎn)3nm工藝,接下來則是2nm工藝。

  臺(tái)積電計(jì)劃未來三年投資1000億美元,其中先進(jìn)工藝花費(fèi)的資金最多,2nm工藝也是前所未有的新工藝,臺(tái)積電去年稱2nm工藝取得了重大進(jìn)展,進(jìn)度比預(yù)期的要好。

游俠網(wǎng)1

  實(shí)際上臺(tái)積電的2nm工藝沒有宣傳的那么夸張,此前只是技術(shù)探索階段,尋找到了可行的技術(shù)路徑。現(xiàn)在2nm工藝才算是進(jìn)入了研發(fā)階段,重點(diǎn)轉(zhuǎn)向了測試載具設(shè)計(jì)、光罩制作及硅試產(chǎn)等方向。

  根據(jù)臺(tái)積電的說法,2nm工藝節(jié)點(diǎn)上,他們也會(huì)放棄FinFET晶體管結(jié)構(gòu),轉(zhuǎn)向GAA環(huán)繞柵極結(jié)構(gòu),此前三星更為激進(jìn),在3nm節(jié)點(diǎn)就會(huì)棄用GAA晶體管,不過這兩家的GAA晶體管結(jié)構(gòu)也不會(huì)一樣,孰優(yōu)孰劣還沒定論。在2nm節(jié)點(diǎn),光刻工藝更加重要,EUV光刻是少不了的,但此前的EUV工藝還存在不少問題,臺(tái)積電的2nm節(jié)點(diǎn)也會(huì)重點(diǎn)改進(jìn)EUV工藝,提高光刻中的質(zhì)量及效率。

游俠網(wǎng)2

  至于量產(chǎn)時(shí)間,臺(tái)積電的2nm工廠現(xiàn)在還在起步階段,此前消息稱是2023年試產(chǎn)2nm工藝,2024年量產(chǎn)。

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