美國(guó)限制向中國(guó)出售DUV設(shè)備：三星海力士擔(dān)心受牽連！

　　韓國(guó)脈沖公司稱，美國(guó)的新制裁措施禁止向中國(guó)供應(yīng)深紫外線芯片設(shè)備，韓國(guó)的三星和SK海力士公司擔(dān)心自身受到牽連。

　　3月初，美國(guó)國(guó)家安全委員會(huì)（NSC）稱，應(yīng)限制向中國(guó)出售DUV設(shè)備。限制中特別提到了與氟化氬（ArF）有關(guān)的技術(shù)，氬氟浸沒(méi)式光刻技術(shù)對(duì)于16納米或更小尺寸的雙極型生產(chǎn)至關(guān)重要。

　　消息稱，三星和SK海力士在中國(guó)的工廠分別將這些技術(shù)用于NAND內(nèi)存和DRAM，據(jù)悉，韓國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)協(xié)會(huì)（KSIA）已經(jīng)向美國(guó)政府提出，要對(duì)這兩家制造商做出例外規(guī)定，因?yàn)樗鼈儗?duì)韓國(guó)經(jīng)濟(jì)至關(guān)重要。KSIA擔(dān)心美國(guó)對(duì)許多中國(guó)芯片制造商的制裁將擴(kuò)大到所有在中國(guó)設(shè)有生產(chǎn)基地的制造商。

　　極紫外線光刻機(jī)（EUV）的銷(xiāo)售已被禁止，目前來(lái)說(shuō)，ASML仍被允許向中國(guó)中芯國(guó)際提供DUV設(shè)備。